2500L / Sのルーツ真空ポンプ、空気分離の植物のための低温液化ガス ポンプ

2500L / Sのルーツ真空ポンプ、空気分離の植物のための低温液化ガス ポンプ

1.description

真空ポンプへの前任者はロマンに知られていた吸引ポンプでした。二重行為の吸引ポンプはポンペイ市で見つけられました。アラビア エンジニアのAlJazariはまた13世紀に吸引ポンプを記述しました。彼は彼のモデルがサイフォンのより大きい版ギリシア火薬を排出するのに使用されたビザンチンだったと言いました。^[2]吸引ポンプは15世紀からのヨーロッパで後で再現しました。

17世紀までに、水ポンプの設計はポイントに測定可能な真空を作り出したが、これはすぐに理解されませんでしたこと改良しました。知られていたものが吸引ポンプがある特定の高さを越える水を引っ張ることができなかったことでした:1635のまわりに取られる測定に従う18のフィレンツェのヤード。（メートルへの転換は不確かです、しかし約9か10メートルです。）この限界は潅漑のプロジェクト、鉱山排水および問題を調査するためにタスカニーの公爵、従って公爵によって依託されたガリレオが計画した装飾的な水噴水へ心配でした。ガリレオは1639.Berti'sバロメーターのローマで最初の水のバロメーターを造ることによって作り出した水コラムの上の真空を複製した、彼がそれをそれを説明できなかったGasparo Bertiを含む他の科学者に困惑を、広告しました。進歩は1643年にエヴァンジェリスタ・トリチェリによってなされました。ガリレオのノートに建物、彼は上のスペースが真空だったこと最初の水銀バロメーターを造り、説得力のある議論を書きました。コラムの高さは支える大気圧がことができる最高重量にそれから限られました;これは吸引ポンプの制限高さです。1654年に、オットー・フォン・ゲーリケは最初の真空ポンプを発明し、マクデブルク彼の有名な半球を実験しま、馬のチームが空気が避難した2つの半球を分けることができなかったことを示します行ないま。ロバート・ボイルはGuerickeの設計を改善し、真空の特性の実験を行ないました。ロバート・フックまた助けられたBoyleの農産物真空を作り出すのを助けた空気ポンプ。真空の調査は1855までそれからハインリッヒGeisslerが水銀の変位ポンプを発明し、約10 Paの記録的な真空を達成したときに、経過しました（0.1トル）。いくつかの電気特性はこの真空のレベルで観察可能になり、これは真空の興味を更新しました。これは、それから、真空管の開発をもたらしました。

19世紀では、ニコラ・テスラは枯渇の高度を作成するためにSprengelポンプを含んでいる器具を設計しました。

2.type

ポンプは3つの技術に従って広く分類することができます:

肯定的な変位ポンプは繰り返しキャビティを拡大するのにメカニズムを使用しガスが部屋から流れるようにしキャビティを封鎖し、そして大気に排出します。また分子ポンプと呼ばれる運動量移動ポンプは、密な液体の高速ジェット機か部屋からガスの分子をたたくのに高速回転刃を使用します。わなに掛ける事ポンプは固体または吸着された状態のガスを捕獲します。これはcryopumps、ゲッターおよびイオン ポンプを含んでいます。

肯定的な変位ポンプは低い真空のための最も有効です。1-2の肯定的な変位ポンプと共の運動量移動ポンプは高真空を達成するのに使用される共通構成です。この構成で肯定的な変位ポンプは2つのかないます。最初にそれは運動量移動ポンプが大気圧でポンプでくみ始めることができないので高真空を得るのに運動量移動ポンプが使用することができる前に避難する容器の荒い真空を得ます。二番目に肯定的な変位ポンプは低い真空に高真空ポンプの転置された分子の蓄積の避難によって運動量移動ポンプをバックアップします。わなに掛ける事ポンプは超高真空に達するために加えることができますが空気分子かイオンを引っ掛ける表面の周期的な再生を要求します。従ってこの条件が原因で利用できる操作上の時間は低く、高真空に受け入れがたいほど急にある場合もありま超高真空に使用を限ります。ポンプはまたオイルの蒸気の製造業の許容のような細部で、シーリング材料、圧力、流れ、入場または入場、塵へのサービス間隔、信頼性、許容、化学薬品への許容、液体への許容および振動異なりません。

3.positive変位ポンプ

部分的な真空は容器の容積の増加によって発生させることができます。無限成長を要求しないで部屋を不明確に避難させ続けるためには真空のコンパートメントは繰り返し閉まり、排出され、再度拡大することができます。これは肯定的な変位ポンプ、例えば手動水ポンプの後ろの主義です。ポンプの中で、メカニズムは大気のそれの下で圧力を減らすために小さい密封されたキャビティを拡大します。圧力差動のために、部屋からの液体はポンプの小さいキャビティに（またはよく、私達の例で）押されます。ポンプのキャビティは部屋からそして密封され、大気に開き、そして微細なサイズに戻って絞られます。

より洗練されたシステムはほとんどの産業適用のために使用されますが、循環容積の取り外しの基本原則は同じです:

• 回転式ベーン・ポンプ、共通
• ダイヤフラム ポンプ、ゼロ オイルの汚染
• 塵に抗力が高い液体リング
• ピストン・ポンプ、変動の真空
• スクロール ポンプ、最高速度の乾燥したポンプ
• ねじポンプ（10 Pa）
• Wankelポンプ
• 外的なベーン・ポンプ
• また増圧ポンプと呼ばれる送風機を、定着させましたり最も高くポンプの体積流量低い圧縮比を持っています
• よりよい圧縮比を最高ポンプの体積流量に与える複数の段階を結合する多段式根はポンプでくみます
• Toeplerポンプ
• 丸い突出部ポンプ

ゴムおよびプラスチック密封されたピストン・ポンプ システムの基礎圧力は新しかったです場合スクロール ポンプは（10 Paに達するかもしれないし、が、普通1から50 kPaです）きれいな、空の金属部屋が付いている回転式ベーンの油ポンプは容易に0.1 Paを達成できます。

肯定的な変位の真空ポンプは各周期が付いているガスの同じ容積を動かします、従ってbackstreamingによって克服されなければポンプの体積流量は一定しています。